申泰环保 图 、光解废气处理、临沂废气处理

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1、制绒工艺废气分析：在制绒工艺过程中，废气源主要为制绒及清洗设备，废气种类因工艺不同而有区别，废气处理设备，主要废气为

氮氧化物、fu化氢气体（多晶工艺）；碱蒸汽及醇类（单晶）。

2、扩散工艺废气分析：扩散工艺涉及废气排放的设备主要是：扩散

炉、石英管清洗机、石墨舟清洗机等。扩散炉排出的废气是酸性废气及热废气，本项目酸性废气主要为含氯废气，如lv气等。石英管清洗机、石墨舟清洗机产生的废气主要为含fu化氢及lv化氢成分的酸性气体。

3、镀膜工艺废气分析：镀膜工艺涉及的主要设备为去磷硅玻璃清洗机及PECVD等。去磷硅玻璃清洗机产生的废气主要成分为fu化氢及lv化氢等；PECVD尾气主要包含gui烷、氨气等。